设备名称：准分子激光器

　　仪器指标：

　　1）TOL准分子激光器 型号：TOL-25

　　仪器参数

　　单脉冲能量：250mJ

　　激光脉冲重复频率：1-30HZ

　　激光平均功率：7W

　　脉冲稳定度：±5%

　　真空泵：4L旋片式真空泵

　　2）脉冲激光沉积设备 型号：PLD450A

　　仪器参数

　　球体极限真空：  (24~36h)

　　抽气速率：      （大气≤40分钟）

　　漏率：

　　基片加热温度：900℃±1℃ 可控温度

　　基片回转：5~20转/min   可调

　　基片与靶材举例：最小40mm,最大90mm

　　仪器介绍：准分子激光是指受到电子束激发的惰性气体和卤素气体结合的混合气体形成的分子向其基态跃迁时所产生的激光。准分子激光属于冷激光，无热效应，光子能量波长范围为157－353纳米，寿命为几十毫微秒，属于紫外光。TOL型系列准分子激光器是一种横向快放电激励的中小（平均）功率的气体激光器件。TOL系列准分子激光器由于具有工作波长短、脉宽窄、单脉冲能量高及峰值功率高的特点，使其成为紫外波段领域的首选激光光源。

　　仪器用途：准分子激光器作为紫外辐射光源已在工业、医学和研究领域得到了极其广泛的应用,包括:激光雷达辐射光源,质谱和光谱学研究中的激光光源,光纤Bragg光栅,激光近视矫正及皮肤学治疗,Raman散射泵浦光源。另外,准分子激光在镀膜方面也发挥着独特的魅力，1987年,贝尔实验室首次尝试用高能准分子激光器成功地制备出高质量的高温超导薄膜,使激光镀膜法成为一种重要的镀膜方法。在真空蒸发、磁控溅射、化学气相沉积法这些众多方法中,脉冲激光淀积法具有靶膜成分一致,对化学组分控制简单,灵活性大,淀积速率高,且可在较低的衬底温度下结晶等优势,克服了其它方法中制备薄膜的很多困难,使得在现有的成膜技术中脉冲准分子激光淀积法成为制备高质量氧化物薄膜的最为成功的方法之一,并被广泛应用。

　　设备名称：YAG激光器

　　仪器指标

　　型号：MQU 2000-Ⅲ型YAG激光器

　　激光波长：1064nm、532nm、355nm

　　输出能量：2J@1064nm

　　1J@532nm

　　400mJ@355nm

　　脉冲宽度：<10ns@1064nm

　　<9ns@532nm

　　<8ns@355nm

　　重复频率：10HZ

　　激光发散角：≤1mrad

　　光斑直径：10mm±2mm

　　能量稳定度：≤3%@1064nm

　　≤4%@532nm

　　≤5%@355nm

　　激光存储温度：5~35℃

　　使用温度：10-30℃

　　仪器用途：YAG激光器在工业中的应用主要是用于材料加工,如切割、焊接、打孔等,不仅使加工质量得到提高, 而且提高了工作效率; 在医疗方面的应用, 主要是作为手术刀, 使手术不出血或很少出血, 而且可作一般手术刀无法或难以进行的手术, 如脑血管、心血管及眼科手术等。除此之外, YAG激光器还可以为科学研究提供一种精确而快捷的研究手段,如YAG激光器中输出的355nm激光，经三束光干涉，形成点阵结构，在LED透明电极上光刻点阵，可提高LED发光效率。